| 扫描显微镜 |
| JP2012157449 2012-7-13 发明申请 |
| 2014-2-3 |
| 要解决的问题 : 不使用特殊的装置，所述扫描装置的控制，或成本可以降低在尺寸以提供一个扫描显微镜。溶液 : 本发明的一个扫描显微镜100，和所述光源1; 所述物体的表面2的照明光20和一个物镜用于会聚该光5，照明光被发送到所述板10，该板和所述的表面具有一标尺图案11，反射的观察20年代光从所述对象和一个检测器8，所述对象到被所述的表面上观察到的与所述照明光扫描装置3，7和被移动，该信息从所述检测器和扫描装置，以形成一个从所述图像的图像处理装置9，在所述所述比例基于所述的图像上产生图像，扫描装置用于控制所述的照明光的运动和图像处理装置，将选择的绘制 : 图1 |
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