| 一种扫描电子显微镜的样品和预先充电条件设定方法。 |
| JP2012159173 2012-7-18 发明申请 |
| 2014-2-3 |
| 要解决的问题 : 本发明，当样品被预充电，和以提高所述的粘附所述一种扫描电子显微镜大的电荷，所述样品和所述的充电条件和提供一种方法。设置一个备用。溶液 : 本发明中，为了达到该目的，一种扫描电子显微镜束条件在多个样品的每单位时间的充电量是监视，在该多个光束的条件，所述充电所述光束的每单位时间的条件变化的量是最大的，所述的电荷量或变化的量超过一个给定值，一个扫描电子显微镜束条件，和以提供一种用于预充电条件设定样品的方法。选择的绘制 : 图9 |
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