| 一种样品的观察和电子显微镜的图像的方法保持器 |
| JP2012162925 2012-7-23 发明申请 |
| 2014-2-3 |
| 一个层叠体配置成从一个绝缘薄膜(11)和一个次级电子发射防止薄膜(12)是提供一个上主体的内部(21)的样品架(20)，和一个电子束(41)发出从电子枪(40)被输入从所述次级电子发射防止薄的膜侧，所述的下表面所述绝缘薄膜(11)是一种样品安装表面，和一个样品(30)，以被观察到的是保持由抽吸和所述的装置等。所述次级电子发射防止薄膜(12)是一种材料的形成，其具有一个小的二次电子发射系数(Δ)，和其中是优选的是一种非绝缘的材料，即，由于该次级电子发射防止薄膜(12)具有导电特性，同时具有高电阻，所述充电电平的一个与所述电子束照射的部分成为低，作为一个结果，由于电子束辐照被充电的效果降低，所述表面层中产生的二次电子所述次级电子发射的防止薄的膜(12)是不容易该膜发射到所述的外侧，和图像对比度的降低由于所述二次电子放电被抑制。 |
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