| 显微镜系统和成像干涉仪系统 |
| TW099128413 2010-8-25 发明授权 |
| 2014-2-1 |
| 本发明提供一种系统，包括：一或多个显微镜，每一显微镜包括一相应的物镜和一相应的平台，相应的平台用以将一待测物相对於相应的物镜作定位，并且能够相对於对应的物镜而移动；以及一侦测器系统，包括：一侦测器光源；一或多个干涉侦测器，每一干涉侦测器与显微镜中之一者相关，干涉侦测器用以接收侦测器光源所发出的光，以便产生所发出的光之一相应的第一部分和一相应的第二部分之间的一光程差，光程差系有关於相应的物镜和相应的平台的距离，干涉侦测器将所发出的光之相应的第一部分和相应的第二部分结合起来提供相应的一输出光；一或多个检测器，每一检测器用以检测来自於相应的干涉侦测器的输出光；一或多个光纤波导，用以引导侦测器光源、干涉侦测器和检测器间的光；一可调整光学腔，系为侦测器光源至干涉侦测器之光路；以及一电子控制器，用以与侦测器通讯，电子控制器用以根据干涉侦测器所侦测; 到的输出光来决定一或多个光程差的资讯。 |
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