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扫描探针显微镜
WOJP13069199 2013-7-12 发明申请
2014-1-30
一探针显微镜头(10)的一个扫描探针显微镜是提供具有 : 一扫描机构(11),它扫描一个悬臂芯片(1)沿X-轴,Y-轴,和一Z-轴是正交于每个其它; 和一个光传输板(20),其被设置在与液体接触。所述的光学传输板(20)使检测光用于检测所述位移一悬臂的所述悬臂的芯片(1),以从中穿过的传输,和不扫描通过该扫描机构(11)。
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