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系统和方法用于测量角度的发光在带电粒子显微镜
EP13003719 2013-7-24 发明申请
2014-1-29
在所述扫描电子显微镜进行cathodoluminescence单独的显微结构的局部激励带来的优点,当发光结构被其特征在于,所述强度,波长,偏振和角度发射所述的发光是所有感兴趣的。本发明提供了一种该辐射装置,用于确定所述的角度分布的光,和在特定提供该用户具有旋转对称性,其所述测量的原理是必需的。这与附加的偏振是兼容的和光谱带通滤波的方法用于表征所述发光和理解该样品。
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