| 一种透射电子显微镜样品的固定装置 |
| CN201310491553.7 2013-10-18 发明申请 |
| 2014-1-22 |
| 本发明公开了一种透射电子显微镜样品的固定装置，属于半导体制造装备技术领域。所述固定装置包括：用于承载样品的样品杆，弹片，还包括固定连接在所述样品杆上的弹簧螺丝，所述弹簧螺丝穿过所述弹片的第一端；所述弹簧螺丝具有锁紧状态以及释放状态，当该弹簧螺丝位于锁紧状态时，所述弹片的第二端抵靠在所述样品上；当该弹簧螺丝位于释放状态时，所述弹片与所述样品脱离。采用上述结构，通过手工操作弹簧螺丝即可实现样品的固定和取出。这种方法解决了螺丝固定过程中出现的滑丝问题，有效地缩短了透射电子显微镜样品固定与取出的时间，提高了透射电子显微镜的使用效率，延长了固定螺丝的使用寿命，并且降低了使用成本。 |
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