| 使用所述带电颗粒的显微镜图像扫描方法和装置，和一用于观测方法和观察装置 |
| JP2010061777 2010-3-18 发明授权 |
| 2014-1-22 |
| 一半导体图案的获取一个图像的过程中通过使用扫描电子显微镜(SEM)，本发明提供了一种图像生成方法和装置，其允许要产生一个高-分辨率的SEM图像的同时，抑制损伤通过SEM成像到一个样品引起作为一个电子束的照射的结果。一种多个的区域具有类似形状的图案(类似的区域)被从一个低-分辨率的SEM图像中提取其具有被成像的同时抑制所述电子束照射的能量。从所述所述提取区域的一单个高分辨率图像数据的图像所述图案是由图像产生的恢复处理，进一步，本发明还使用设计数据在所述的方法确定所述类似的区域和所述SEM成像位置和成像范围用于执行所述图像恢复处理。 |
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