| 角度检测装置和扫描显微镜系统 |
| JP2012140015 2012-6-21 发明申请 |
| 2014-1-16 |
| 要解决的问题 : 所述反射镜的角度在一摇摆运动到所述的光，以提供一高通用角度检测装置。溶液 : 一反射镜22以一预定轴线周围摆动振荡的角度，它是一种角度检测装置1，该反射镜22的第一反射面22b和所述光源11，被反射通过所述反射表面22b，其中通过所述的振荡被扫描的所述反射镜22，其检测所述的强度光并检测部16，和所述源极11之间和所述反射镜22和反射镜22之间提供所述检测部16，所述光入射在该区域的所述部分所述的横截面的所述光通量所述的光的磁通穿过所述两个窗口部分12，15和2，它是通过检测该检测部分16所述量的基础上所述的摆动角度的所述反射镜22和被提供与一个计算部分17，所述两个窗口部分12，152，与相对于一个的另一通过一反射镜22和一方向中移动对应于该当该重叠区域被连续地扫描光的方向单调地改变一个光光束的横截面形状通过所述角度检测器1，分别。选择绘制 : 图1 |
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