| 电子显微镜和图像形成方法使用电子显微镜 |
| WOJP13067640 2013-6-27 发明申请 |
| 2014-1-16 |
| 这种扫描电子显微镜是提供与所述如下 : 采样单元(12，13)，其样品发出一个检测信号表示电子通过一第一检测的检测单元(4)，一个处理单元(14)，其计算的平均或总和多个检测信号通过所述采样单元采样的，和一种图像形成单元(15)，其形成一个图像所述的基础上的所述多个检测信号的所述的平均或总和。所述周期(19)的一个采样触发器信号是所述的基础上确定所述平均数目的电子照射的样品是与每个单元时间，这允许有效的检测，与droppage减小发射电子的检测信号和加法的不需要的信号，使它可能的，以获得高-质量扫描电子显微镜图像，即使与一个低电子照射电平。 |
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