| 扫描探针显微镜 |
| WOJP13064569 2013-5-27 发明申请 |
| 2014-1-9 |
| 本发明的目的是提供一种扫描探针显微镜，其中所述等离子体的激励效率已经改进和其中，作为一个结果，具有一种改进的用于近场光的激励效率。本发明提供了一个扫描探针显微镜，其特征在于，配备有 : 一悬臂包括一个探头，其扫描对象以被检查，一光源，其使激励光进入所述悬臂，和一近场光检测传感器，其检测近场光，其被产生在所述由等离激元激发所述探针的尖端与所述悬臂激励光，其已经通过所述的表面散射的所述待检查的对象，所述显微镜进一步其特征在于，一微结构，其引导所述激励光到一个用于所述等离子体的激发点已经设置所述部分中所述悬臂的所述激励光被到被照射在其上。 |
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