| 扫描显微镜 |
| EP12175458 2012-7-6 发明申请 |
| 2014-1-8 |
| 一个扫描探针显微镜包括一个基座，一定位阶段安装在所述底座，一个平台上安装所述定位级和一个探头尖端所述平台上，该定位阶段包括-一个第一和第二线性位移致动器，每个具有一主方向的位移，所述主方向第一和第二线性位移的位移的致动器被取向基本上平行于每个其它，-一个第一和第二所述平台支柱或支柱之间的直接或间接耦合和端部第一和第二的致动器，其中第一和第二的致动器中终止所述主方向位移分别，至少第一支柱或支柱被引导在一个倾斜的角度，以所述主方向所述致动器的位移。 |
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