| 扫描透射电子显微镜独立光谱数据的空间分辨对准方法 |
| US13688098 2012-11-28 发明授权 |
| 2014-1-7 |
| 提供了对来自扫描透射电子显微镜(STEMS)的独立光谱数据进行空间分辨对准的方法。 一种这样的方法包括使用被配置为捕获具有第一图像轮廓的第一信号的杆来执行第一样本的第一区域的第一扫描， 使用所述杆执行第二样本的第二区域的第二扫描，所述杆被配置为捕获具有第二图像轮廓的第二信号，从所述第一轮廓和所述第二轮廓之一中选择子集区域，从所述第一轮廓和所述第二轮廓之一以及所述第一轮廓和所述第二轮廓中的另一个中关联所述所选子集区域，以及基于所述关联选择所述第一轮廓和所述第二轮廓中的另一个的一部分，使得所述所选子集区域和所述第一轮廓和所述第二轮廓中的另一个的部分大致相等。 |
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