| 用于扫描电子显微镜的样品台可移动的证明和所述相同的扫描电子显微镜 |
| KR1020120067294 2012-6-22 发明申请 |
| 2014-1-3 |
| 本发明指的是涉及一种扫描电子显微镜的样品台，一个样本级的扫描本发明的电子显微镜，样品的扫描电子显微镜，被测量，和记录\/作为被设置在所述，样品处理部分，它被安装，所述样品上有一安装部识别特性的样品接触与从样品用于探针的问题，和一个处理部分被固定到所述侧，所述被其它侧的所述外槽被耦合探头的问题和，所述所述处理部分，用于控制\/位置上，用于调整所述位置探头使上用于讨论其特征在于，包括，根据本发明，扫描电子显微探针的位置局部可被所述时间期间移动到所述机械或电性能。 |
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