| 高吞吐量的扫描探针显微镜装置 |
| EP12174204 2012-6-28 发明申请 |
| 2014-1-1 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜样品表面上的装置，用于映射纳米结构的一个样品，包括多个探针用于扫描所述样品表面，和一个或多个用于使运动的运动的致动器所述探针相对于所述样品，其中每个所述多个探针包括一探测的尖端的安装在一悬臂接触中设置用于使所述的探针头与所述取样用于使所述扫描表面，该装置进一步包括多个z-位置的检测器用于确定每个探测头的一位置沿Z-方向，当所述的探针头与所述样品是在接触表面，其中所述Z-方向是一方向横向于所述样品的表面，用于使所述的纳米结构，其中所述多个探针的映射被安装在多个头的; 每个头包括一个或更多的所述多个探针，其中的每个的所述头是安装在一支撑基座与所述头相关联，每个支撑基座被设置用于单独地移动其相关的头相对于所述样品，和其中，所述相关联的头，用于使所述个体的运动，每个支撑基座包括一平面致动器单元包括至少一个用于移动所述头相关联的所述运动的致动器与所述支撑基座相对于所述样品在至少一个方向平行于所述样品表面，其中所述平面致动器单元被设置在一沿所述支撑基座第一安装位置，所述第一安装位置被远程从一个第二的安装位置，其中所述头与所述支撑基座第二上安装相关联的所述支撑基座上的安装位置。 |
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