| 用于双探针原子力显微镜的激光测力系统 |
| CN201310389448.2 2013-8-30 发明申请 |
| 2013-12-18 |
| 用于双探针原子力显微镜的激光测力系统，属于纳米结构或纳米器件三维操作技术领域，具体涉及原子力显微镜探针的测力技术。它为了解决传统的原子力显微镜(AFM)因不具备探针测力系统而不能实现纳米结构的三维操作的问题。本发明包括两套独立的激光力学子系统，所述两套独立的激光力学子系统的布局与两个探针的布局相对应，呈左右对称结构。两套激光力学子系统中的两个四象限位置检测器分别用来测量每个探针的受力变形程度，以此实现两个探针位置的纳米级精密定位和操作力的精确检测控制，进而实现纳米结构的三维操作。本发明适用于纳米制造、测试、特性表征以及生物领域。 |
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