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原子力显微镜控制器和方法

US14001588 2011-2-25 发明申请

2013-12-12

公开了一种用于确定原子力显微镜装置的环路响应的方法。该方法包括 : 确定悬臂在频率范围上的表面运动的环路响应；确定所述悬臂在所述频率范围上的离面移动的环路响应；以及将控制器的输出调节到基于用于离面运动的环路响应的频率。公开了一种原子力显微镜系统。