| 扫描电子显微镜 |
| WOKR13003546 2013-4-25 发明申请 |
| 2013-12-5 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜(SEM)，所述扫描电子显微镜包括 : 一柱具有一电子枪，其通过施加热或电场放电的多个电子在一真空状态和施加能量，它是大于比一个工作功能和产生电子束，一个聚焦透镜，一偏转器，一个物镜，和一个孔; 腔室到其所述加速该电子束的电子被施加以照射一个观察目标样品; 和其中提供了一种检测信号，例如一个二次电子，其是排出从所述样品通过至少一个检测器，和一个滤波器，分离从该柱通过一短的距离和所述边界的表面上设置所述腔室，其允许所述关于一种光学轴线所述电子束的电子的聚焦透过，但不允许空气通，和提供所述电子束提供通过该柱以所述腔室，该检测信号，这种作为一种二次电子照射排出向所述样品与所述加速该电子束的电子通过该滤波器其被设置在所述边界表面的一非真空室与惰性的气体从该柱注入，其包括所述的电子枪在所述的真空状态，是检测由所述检测器，和所述腔室和所述柱可以被分离从每个其它以便允许接口具有不同的列和降低所述体积的传统真空腔室。 |
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