| 用扫描电子显微镜检查系统，用于使用 |
| EP13169847 2013-5-30 发明申请 |
| 2013-12-4 |
| 使用扫描电子显微镜检查系统包括一种扫描电子显微镜室(100)检查一个对象(10)到通过使用一种电子束被检查(1)和维持真空条件，一个级(200)位于低于所述扫描电子显微镜室，以从那里被分离和安装与所述待检查的对象，和一横向导轨(300)。该级上传送所述扫描电子显微镜室。所述扫描电子显微镜室之间的大气条件被保持和所述待检查的对象，因此，要检查的对象一种对被检查对象的一个大尺寸可以被检查，而不损伤到所述待检查的对象，使得成本降低和产率的改进可以被实现。 |
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