| 超声波原子力显微镜装置 |
| KR1020120054608 2012-5-23 发明申请 |
| 2013-12-3 |
| 本发明指的是涉及超声波原子力显微镜装置。原子力显微镜超声波本发明根据以一种装置，谐振频率的所述输入信号到所述垂直方向中一个样品分别超声和具有一个悬臂和所述样品与超声连接到在原子力显微镜装置，所述部分具有样品所述悬臂和所述谐振频率具有样品所述悬臂和所述功能识别信号发生器单元和所述流管振动装置部分，所述悬臂和所述样品与MIMO-OFDM振动之间的部分放大部分中所述锁包括控制驱动器; 从所述激光器对准所述表面上使所述悬臂的所述样品上被反射的光照射与所述激光的光，分割成多个区域的用于通过一位移的传感器，所述悬臂的所述头位移部分和一个悬臂信息，所述悬臂的所述样品接触到所述保持所述位移测量部分包括一悬臂驱动单元，和所述控制驱动器和控制所述位移测量的所述操作部，所述摆动信号中的锁定下测试是放大通过所述放大部和所述位移测量部分由位移检测样品的表面的纳米级通过表面层部分图像的图像和一个表面和弹性特性，其能够产生的图像可以包括一个微机。 |
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