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样本表面电荷调节方法、带电粒子束成像组件及扫描电子显微镜

TW098130167 2009-9-8 发明授权

2013-12-1

本发明提供一种样本表面电荷之调节方法，其於样本呈连续移动状态或跳跃移动状态时，发射一带电粒子束於一第一区域，以及发射具有气体分子之一泛射式带能量束於一第二区域。第二区域就样本之移动而言，系位於第一区域之前或之後一适当距离处。因此使样本之表面电荷得到调节。