所述扫描探针显微镜和其操作的方法
 
JP2012109904  2012-5-11  发明申请

2013-11-28
 
  要解决的问题 : 从所述样品级afterloader测量头可转动提供一种扫描探针显微镜。溶液 : 所述扫描探针显微镜,被安装在一个样品台22被提供有一测量头14。所述测量头14,和所述悬臂的自由端处具有一探头3,样品1以一三-维XYZquantizedtransformation悬臂3和一扫描机构,该扫描机构保持所述XYZ具有一壳体12。所述扫描探针显微镜,和外壳12被提供有一手柄30,该测量头14被可旋转地支承由所述旋转机构和一个铰链34,该壳体12的旋转和该铰链34被连接到所述连接部分31和所述端,所述支柱的铰链34保持所述固定端32被提供,该测量头14,和一个连接部分31和该支撑32通过一铰链34,反射镜20是由一基座26和一个样品台22被连接到一个设定表,将选择的绘制 : 图1
 
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