| 扫描图案成像方法使用所述带电粒子显微镜 |
| JP2013139742 2013-7-3 发明申请 |
| 2013-11-28 |
| 要解决的问题 : 宽一种半导体图案(ep)的成像区域被划分成多个的成像区域(sep)，SEPSEM拍摄的图像通过所述图像处理通过连接基团一全景图像中的合成技术，结合和一个图形图像，其被连接到所有小SEP被确定，并确定该SEP即使没有这种所述用户的请求项满足mutilayeredSEP被确定。溶液 : 所述手持接合的部分在一个SEP图案之间的重叠区域是包括和所述整个图像无需关注到所述的事实存在连接到所述的情况下，所述提取的情况下是通过优化该SEP的所有图像的装置是能够确定的一连接是增加的情况下，SEP。此外，即使没有这种SEP可以被确定，和所述装置的一多个候选的SEP所述用户的请求，以显示信息项制成的可视·SEP到该用户以选择一种mutilayeredSEP满足所要求的项可被容易地确定，将选择的绘制 : 图14 |
微信公众号