| 双探针原子力显微镜及采用该显微镜实现纳米结构操作的方法 |
| CN201310389447.8 2013-8-30 发明申请 |
| 2013-11-27 |
| 双探针原子力显微镜及采用该显微镜实现纳米结构操作的方法，涉及纳米操作和组装的光机电一体化技术，尤其涉及实现纳米结构或纳米器件三维操作和组装的光机电一体化技术。它为了解决传统的原子力显微镜不能实现纳米结构的三维摄取和释放的问题。本发明通过上位机和双路探针控制器对两个纳米定位台和三个微米定位台移动，进而带动两个探针手臂和样品台移动。本发明能够实现纳米结构的夹持、三维摄取和释放操作，双路探针控制器能够实现两个探针手臂在Z方向位置的精确控制，确保了夹持、摄取和释放过程的稳定性。本发明适用于纳米制造、测试、特性表征以及生物领域。 |
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