| 干扰电子显微镜 |
| EP13169141 2013-5-24 发明申请 |
| 2013-11-27 |
| 一个干扰电子显微镜中，一第一电子之间设置双棱镜(12)是一个加速管(39)和一个照明透镜系统，一掩模(29)是所述加速管和第一之间设置电子双棱镜，和第一的电子双棱镜被设置在一使所述掩模形成的荫。第一和第二的电流密度电子束在一抛物线一物镜透镜系统，其中一个样品的表面(6)是定位是通过一控制系统控制由一个所述的照明光的作用-透镜系统，该掩模是所述的抛物面所述物镜的透镜表面上的成像系统; 和一个电-光第一的电子双棱镜和所述抛物线表面之间的长度所述物镜的透镜，其中所述样品是位于被控制而不产生菲涅耳条纹在一样品表面从所述掩模和第一的电子双棱镜。 |
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