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光学成像控制原子力显微镜

US13249654 2011-9-30 发明授权

2013-11-26

一种用于光学控制原子力显微镜(AFM)的方法，包括使用光学成像装置获取样品的光学图像，使用光学图像识别样品上的感兴趣特征，使用AFM成像装置获取样品的高分辨率AFM图像，AFM成像装置包括具有尖端的悬臂，在感兴趣特征处用光学图像覆盖AFM图像，以及使用光学图像将探针尖端定位在感兴趣特征上。