| 该显微镜和自动聚焦装置具有相同 |
| JP2012106921 2012-5-8 发明申请 |
| 2013-11-21 |
| 要解决的问题 : 稳定,精确和快速聚焦调节和自动聚焦装置具有相同的。溶液 : 喷出用S从所述物镜系统11和被冷凝,和所述的出射光瞳的位置的所述物镜系统11被设置在一基本上共轭的位置,从所述物镜系统11的光通量到屏蔽和一板状部件14a,和所述板的多个开口14a的H-形部件14a,被多个开口14h仅预定颜色的部件安装在所述滤波器,其14aR,14b,14g和结构化pupile14和具有,每个滤波器所述的光通发送的图像拾取元件16和一个图像形成透镜系统15,1从第一拾取元件16·分析由处理所获得的图像数据,所述焦位置检测部17检测一个聚焦位置和具有,所述焦位置检测部17,第一拾取元件16的每个滤波器1是发送从多个不同的颜色分量的图像是基于获取的一个光通量,这些图像从所述重叠的程度,所述所述物镜的聚焦透镜系统11。选择绘制 : 图1 |