| 水平及旋转扫描曲面卧式原子力显微镜 |
| TW097142606 2008-11-4 发明授权 |
| 2013-11-21 |
| 本发明用来水平及旋转扫描曲面，量测曲面表面上的奈米结构，本发明的组成包括微悬臂及探针之力敏感元件，量测用的压电电阻检测装置，水平扫描用的空气静压导螺杆传动装置，垂直进给用的空气静压导螺杆传动装置，曲面轮廓补偿控制计算模组，空气静压轴承及导轨，空气静压旋转扫描用的主轴，热飘移补偿系统，图像收集显示处理系统以及振动隔离装置，水平扫描以及垂直进给伺服压电致动器模组，当扫描或进给大距离时，使用导螺杆传动，最终精确定位时，使用压电致动器，伺服控制旋转主轴定位量测曲面的圆周角位置，水平扫描伺服控制定位曲面的轴向位置，进给伺服控制定位曲面与探针之正确距离，扫描得到的表面特征由压电电阻检测，经过热飘移补偿系统计算环境温度变化造成的热变形量，补偿在伺服控制定位量，以控制回转及水平扫描精度以及进给精度，振动隔离系统防止测量区的相对位移造成测量误差。曲面轮廓补偿计算得到曲面表面的奈米结构特征资讯。 |
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