| 用于高速原子力显微镜的系统和方法 |
| US13875122 2013-5-1 发明申请 |
| 2013-11-21 |
| 本文公开了一种高速原子力显微镜(HSAFM)。 HSAFM包括悬臂、压电管、光学检测器、电路元件和反馈控制器。 悬臂具有探头，压电管设置在探头附近。 所述光学检测器被配置为检测所述悬臂的偏转，并且所述电路元件邻接所述悬臂的第一端并且被配置为在所述悬臂上施加力以抵抗所述悬臂的偏转。 电路元件通过第一反馈环路可通信地连接到光检测器。 反馈控制器可通信地连接到压电管，并且被配置为沿着z轴朝向和远离探头调制压电管。 反馈控制器通过第二反馈环路可通信地连接到光检测器。 |
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