像差校正装置和激光显微镜
 
WOJP13057473  2013-3-15  发明申请

2013-11-21
 
  一个像差校正装置(3)中引起的波前像差校正光学系统,其包括一个物体透镜(4)。一种用于光输出的光束光学路径中设置一个相干光源(1)。所述像差校正装置(3)具有一对称像差校正元件(3a),其校正对称像差,其被所述波前像差被对称之间相对于所述的光学轴与所产生的波前像差在所述光学路径,和一个非对称像差校正元件(3b),其校正不对称像差,其被波前像差是不对称的与相对于所述光学轴线,所述对象上倾斜地入射光束中产生的透镜(4)。
 
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