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低压透射电子显微镜
US13528990 2012-6-21 发明授权
2013-11-19
本发明的实施例涉及电子显微镜。 示例性实施例涉及包括第一电子束源、第二电子束源和接收单元的装置。 第一电子束源被配置为向样品的表面提供第一低电压电子束。 所述第二电子束源被配置为提供第二低压电子束以穿过所述样品。 所述接收单元被配置为分析所述第一低压电子束或所述第二低压电子束,或所述第一电子束和所述第二电子束两者,以获得关于所述样品的信息。
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