| 扫描探针显微镜之悬臂的机械性能之校正 |
| TW102110825 2013-3-27 发明申请 |
| 2013-11-16 |
| 一種校正懸臂的方法，例如一掃描探針顯微鏡之懸臂(10)(SPM懸臂)。被校正之懸臂包括具有不同熱擴張係數之至少一第一層與第二層(14, 16)，該方法包括下列步驟：控制沿著該懸臂之一溫度(S1)；測量該懸臂之一空間狀態(S2)；以及根據被偵測之空間狀態計算一機械性能(S3)，其中該空間狀態係藉由控制地改變溫度而產生。本發明亦包括一校正配置以及相關於該校正配置之一掃描探針顯微鏡。 |
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