| 该控制方法和扫描探针显微镜 |
| JP2012105185 2012-5-2 发明申请 |
| 2013-11-14 |
| 要解决的问题 : 硬部分和一个软的部分是混合有高精度和稳定性，以所述表面该待测样品的形状扫描探针显微镜中。溶液 : 所述扫描探针显微镜，悬臂12和具有该探针11的自由端，探针11和样品19在三个尺寸和相对移动所述扫描部分20，一个激发信号用于振动所述的悬臂12和一阻尼部14，该悬臂12的位移是由所述位移检测部15输出一位移检测信号。所述混合信号生成部30，该振幅所述位移的信号和输出一个信号到所述幅值和所述振幅信息检测部分31，一种振动一位移信号的信号和所述相位差信息以输出一相位信号通过检测一相位的差值信息检测部分32包括，一混合所述相位信号，以产生一信号振幅的信号。所述Z控制部26，和一个混合信号样品19基于该探针11之间的距离上。该混合信号产生部30，和一相位信号以调整该比所述幅度的信号，将选择的绘制 : 图1 |
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