| 带电颗粒束显微镜 |
| WOJP13059818 2013-4-1 发明申请 |
| 2013-11-14 |
| 本发明的目的是提供一种高度敏感的电子通过增加要输入的光显微镜以所述光接收元件的一种装置，由此图像中的一个检测器获得的样品是由与电子束照射该样品，并检测从所述样品产生的二次颗粒。本发的目的本发明是以提供还电子显微镜可进行高速的检测。一种电子所述的显微镜本发本发明是一种电子源的配置用于产生一个电子束，电子束光学系统，一个样品台; 一个排空系统，和一个电子光束检测器。上述提到的问题是通过具有所述电子束的问题检测器提供具有 : 一个闪烁体，其将输入的电子束成光，光接收元件，其将所述光成电气信号，一个光导向引导该光从所述闪烁器到所述光接收元件; 装置，其减少了所述量的光被输入到所述光接收元件，所述的光被一个部分通过所述的装置所产生的光的闪烁体，和具有一种波长的700nm。 |
微信公众号