| 透射电子显微镜系统和操作透射电子显微镜系统方法 |
| US13864600 2013-4-17 发明申请 |
| 2013-11-7 |
| 1。一种透射电子显微镜系统，包括 : 一种照明系统(2)， 一种物镜系统(13)， 第一投影系统(21)将衍射平面(15)物镜系统成像到第一中间衍射平面(25)中， 第二投影系统(41)将第一中间衍射平面成像到第二中间衍射平面(43)中， 第一孔(27)，其位于第一中间衍射平面内，并具有第一半径(R1)的中心开口；以及亮场检测器(45)，其位于第二中间衍射平面内，并具有由第二半径(R2)的内缘(49)限定的检测表面，其中第一半径和第二半径相对于穿过样品平面的亮场电子的方向的光轴分别限定最大角度和最小角度，并且可由亮场检测器检测到所述第一孔(27)和第二孔(27)。 |
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