| 确定用于确定通过原子力扫描电子显微镜成像的至少一类图案的临界尺寸的适用阈值的方法 |
| US13886371 2013-5-3 发明申请 |
| 2013-11-7 |
| 提出了一种确定阈值的方法，该阈值用于确定由原子力扫描电子显微镜成像的一类图案的临界尺寸。 所述方法包括 : 从多个图案获取用于每个图案的一对图像； 对于每对图像，经由由参考仪器获得的图像确定参考临界尺寸，并且确定适用于由CD-SEM仪器获得的图像的经验阈值，使得所述经验阈值基本上对应于所述参考临界尺寸； 确定适用于一类图案的阈值，所述阈值从多个经验阈值中确定。 |
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