产业集群信息网

产业专利数据

干涉法与数字全息显微镜

US13455931 2012-4-25 发明申请

2013-10-31

一种用于检测关于样品的信息的干涉测量方法，包括 : 发射激光束；将所述激光束分成参考光束和目标光束；以入射角将所述物镜光束透射通过所述样品；将所述参考光束与通过所述样品的所述目标光束组合以形成干涉图案；检测所述干涉图案，并非线性地扫描所述物镜光束以检测多个干涉图案。