| 扫描电子显微镜 |
| WOJP13058482 2013-3-25 发明申请 |
| 2013-10-31 |
| 通常，一个通用扫描电子显微镜中，所述最大加速电压，其可以设置是低，使得该显微镜，其中所述的晶格间距中被限制到样品，其可以观察到结晶薄膜的样品普通的高分辨率的观察条件下被大，因此是不存在具有高精度进行放大倍率校准的装置。为克服这种的装置，提供有 : 一个电子源，其产生一个电子束，一个偏转器，其执行偏转，从而在所述样品与所述电子束扫描，一个物镜，其所述电子束聚焦在所述样品，检测器，其检测散射电子的，其具有通过所述样品和非散射的电子; 一个停止控制所述检测所述散射电子的角度和所述非散射的电子，所述样品之间设置和所述检测器。所述电子束被入射到所述样品与一个规定的开口角度，和一个点阵图像为获得具有一第二开口的角度是大于第一的开口角度，使得所述光束直径所述样品上是一个最小。 |
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