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复合显微镜相结合的扫描探针显微镜和光学显微镜,控制装置,控制方法,和控制程序,和记录介质
WOJP13060518 2013-4-5 发明申请
2013-10-31
这种复合显微镜(10)被提供有 : 一光学显微镜(11),用于获取关于一种样品动态光显微术数据(s)。一种扫描探针显微镜(12),用于获取关于所述样品的动态SPM观察数据(s); 控制装置(13)用于同时发布一个共享的控制命令到所述的光学显微镜(11)和所述扫描探针显微镜(12)。
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