| 表征结构用于一种原子力显微镜针尖 |
| EP13164952 2013-4-23 发明申请 |
| 2013-10-30 |
| 本发明涉及一种结构的一个尖端(40)用于所述表征的一种原子力显微镜。所述结构(40)产生的是在一衬底(41)，包括 : 一个第一的支撑元件(42)位于所述基板(41)上方; 一第一表征元件(45)与一恒定的厚度(E1)，所述第一表征元件(45)位于上述所述第一的支撑元件(42)和具有一个上平表面(46)和一个下平表面(47)覆盖所述所述第一的上表面支撑元件(42)与至少一个区域(P1，P2)延伸超过所述上表面所述第一的支撑元件(42)，所述区(P1，P2)具有一个表征表面(48，49)在一个端它是可具有一尖端接触到的被其特征在于，所述的上表面(46)和所述下所述第一表面(47)的表征元件(45)被平行于所述的上表面(52)的所述基板(41)。 |
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