| 用于一个传输电子显微镜，一个相位之间的相位差板及其制造方法。 |
| JP2012089090 2012-4-10 发明申请 |
| 2013-10-24 |
| 要解决的问题 : 该相位板仅由所述串行过程制造的一单个相位调制结构，因此，所述相位调制中的结构是恶化的情况下，在该相位板被丢弃，和更换。作为一个结果; 增加所制造的成本。所述聚焦离子束形成由所述相位调制结构损伤的方法。溶液 : 所述相位板，多个相位调制的结构S被设置在随机，例如，该相的尺寸板5μm×5Aμm，号100到几个相位调制结构的1000片S被设置在随机，将选择的绘制 : 图。1 |
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