| 化合物显微镜 |
| WOJP13060520 2013-4-5 发明申请 |
| 2013-10-24 |
| 一个样品衬底(2)被支撑在一显微镜级(21)的一个反相的光学显微镜，和一个样品(1)。和一溶液(4)被保持在所述样品衬底(2)。一种AFM是提供具有一个悬臂芯片(3)和一XYZ扫描器(6)。所述悬臂芯片(3)被提供有一悬臂地支承于基板和所述悬臂的自由端处提供一个探头。一种悬臂芯片座(7)保持所述悬臂芯片(3)与所述探针面对所述样品衬底(2)和所述基板倾斜与相对于所述样品衬底(2); 和一个z向扫描器(8)和一XY扫描器(9)三-维扫描所述悬臂芯片(3)在所述样品衬底(2)。一种照明光源(32)照射该样品(1)通过所述衬底之间的空间的所述悬臂芯片(3)和所述样品衬底(2)。 |
微信公众号