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照明装置和包括该照明装置显微镜装置

US13857098 2013-4-4 发明申请

2013-10-17

一种照明装置，包括相位调制型空间光调制器和光瞳投影光学系统，相位调制型空间光调制器布置在光源和照明透镜之间与照明透镜的光瞳位置光学共轭的位置处，用于将从光源发射的光照射到样品上，光瞳投影光学系统用于将照明透镜的光瞳内的至少一个区域投影到空间光调制器的多个不同区域上。