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一种测量图案间位移的方法和装置及用于测量图案间位移的扫描电子显微镜安装单元

US13855977 2013-4-3 发明申请

2013-10-10

为了能够以固定的吞吐量和高精度测量在多个不同图案形成步骤中在样品上形成的不同高度的图案之间的位移，记录电子光学系统的透镜和光束偏转器的参数与光束在样品上的入射角之间的对应关系作为数据，然后计算位移量或边缘位置的校正值，并根据校正值和观察图像计算真实位移量。