| 扫描机构和扫描探针显微镜 |
| WOJP12059249 2012-4-4 发明申请 |
| 2013-10-10 |
| 一扫描机构(10)具有一固定框架(11)，XY-级(13)，其具有一个XY可动部分(14)，其是可移动在该XY方向，和压电元件(12a和12b)，它形成一个XY致动器，其扫描该XY可动部分(14)在该XY方向上。该扫描机构(10)还具有一压电元件(21)保持由该XY可动部分(14)，一夹持器(22)保持通过所述压电元件(21)，和一个悬臂(23)保持通过所述夹持器(22)。所述压电元件(21)形成一个Z-致动器，其中扫描该悬臂(23)在所述Z-方向。所述扫描机构(10)另外具有一个光聚焦单元(25)通过该XY可动保持部分(14)。所述的光聚焦单元(25)用于使所述悬臂(23)的光用于检测位移到被入射到所述悬臂(23)。所述压电元件(21)和所述的光聚焦单元(25)被设置，从而作为待侧-侧的投影中所述X-y平面上。 |
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