| 触摸屏幕的基于扫描探针显微镜术(SPM) |
| EP12002390 2012-4-2 发明申请 |
| 2013-10-9 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜术(SPM)系统(1)包括一个样品台(2)和一个或多个样品的运动阶段(4)用于致动所述样品级(2)，SPM探针(5)和一个或多个探针运动阶段(6)用于致动所述SPM探针(5)和用于执行一个SPM扫描的一个样品(3)设置在所述样品级(2)，和一系统控制器(11)。所述系统控制器(11)包括 : 一个图像采集模块(11.1)被配置为收集从图像获取装置(8)所述样品的一个或多个图像(3)进行通过所述样品级(2)，一个触摸屏控制模块(11.2)被配置以显示所述一个或多个图像所述的样品(2)一起与一个或多个工具(14，15，…)上的一个触摸屏幕(12)和以产生一个或多个控制动作取决于所检测的一个用户的手势触摸该触摸屏幕(12)，和一控制模块(11.3)被配置以接收一个或多个由所述触摸屏幕产生的控制动作控制模块(11.2)和以控制所述SPM系统(1)根据所接收的控制动作。 |
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