产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

WOJP13053790 2013-2-18 发明申请

2013-10-3

一种扫描电子显微镜根据本发明形成一电场，其拉起电子排出从所述底部的孔或该等具有高的效率，即使当所述样品的表面被制成的一种导电材料。一种扫描电子显微镜中，其被设置用于偏转扫描位置与一偏转器的一个电子束和一个用于在其上安装一个样品的样品台，该偏转器或所述样品级是控制这种使电子束是辐射，电子束扫描之前在一个图案，以被测量，在另一图案定位在一待测层下面所述图案。