| 一种磁力显微镜及其测量方法 |
| CN201310251684.8 2013-6-21 发明申请 |
| 2013-10-2 |
| 本发明公开了一种磁力显微镜及其测量方法,该磁力显微镜包括显微镜支架、探针、探测器、激励线圈、扫描器、第一信号发生器、第一信号检测器、控制器及显示器;探针、探测器及扫描器均安装在显微镜支架上,被测样品位于扫描器的上方,探针位于被测样品的上方;第一信号发生器用于产生激励信号,并通过其第一输出端将激励信号发送到激励线圈,同时通过其第二输出端将激励信号发送到第一信号检测器;控制器通过其第一输出端输出电压控制信号到扫描器,从而通过电压控制信号控制扫描器的运动。本发明检测灵敏度高、分辨率好且成像效果好,可较好地反映被测样品的表面磁场分布,可广泛应用于磁性材料的测量中。 |