用于扫描探针显微镜和扫描探针显微镜
 
JP2009078274  2009-3-27  发明授权

2013-10-2
 
  

要解决的问题 : 提供一种探针可允许的一种探测部分的尖端部分接近一个样品为尽可能地靠近在所述多个探针的情况下被使用。

溶液 : 该探针具有所述探测部分34,其被固定到振动器33和具有该尖端部34a,它被锐化。所述条件下,其中所述探针是一种样品S放置到面,所述的尖端部分34a所述探测部分34被提供以具有相对于所述样品的表面被倾斜S和以被所述的外表面的所述试样S在所述表面方向而不是所述振子33。所述尖端部分34a可视地观察从所述上或下方向大致垂直于所述样品的表面S

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