| 一种方法和一种扫描传输电子显微镜 |
| JP2012060459 2012-3-16 发明申请 |
| 2013-9-30 |
| 要解决的问题 : 扫描传输电子显微镜观测方法和样品，所述样品含有不同种类的元件的准确的显微镜图像获取在一旦。溶液 : 由所述电子束EB的照射该样品S1到出口从所述散射角范围用于检测所述第第一电子11和第二的强度检测器21; 该样品通过所述电子束EB的照射S1和所述散射角范围从2范围的不同从第一所述的电子在所述散射角度的出口2用于检测所述的第二强度检测器22和2，基于所述强度的第一的样品1S11所述元件包括在第一用于产生图像，基于所述强度的第一样品2S22的元件包括在第一图像和图像形成部30被提供，其图像生成部30，和第一所述1和第二的图像的图像2S被求和以产生一种显微镜的图像该样品，将选择的绘制 : 图5 |
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